集成電路制造工藝過程中產生的污染有來自晶圓除氣的氮氣和來自光刻膠掩蔽層釋放的氫氣。低溫泵是捕獲型的真空泵，采用極低溫將工藝氣體凍結或吸附在泵內部，符合集成電路制造對清潔無油、大抽速、低振動的高真空設備的需求。同時低溫泵具有優良的穩定性，低故障率，可長期連續運行。

        以GM制冷機為核心部件的低溫泵是一種超高真空獲得設備，憑借其自身的特點與優勢，已廣泛應用于集成電路制造工藝與設備中。近年來，中國集成電路制造裝備及成套工藝快速發展，作為重要零部件的低溫泵需求量也隨之增大。

        低溫泵應用：半導體與集成電路前工序、光學鍍膜、太陽能電池板、光電子器件和真空電子器件制造、平板顯示器件鍍膜等領域；以及空間環境模擬、物質表面分析等科研工程方面。

        為了加強對低溫泵的了解，中國真空網與八匹馬超導在4.13日開展一場“超低溫&超高真空-低溫泵應用技術交流會”，歡迎大家積極參加。
        蘇州八匹馬超導科技有限公司是一家致力于將低溫、真空、超導、磁體技術在半導體、醫療、科學儀器、大科學工程等領域中應用落地并形成產業化的高科技企業。
        公司致力于成為極端條件（強磁場、超低溫、高真空）獲得技術的設備領導者。公司產品涵蓋磁拉單晶超導磁體、儀器超導磁體、低溫真空泵、GM制冷機系統、氦氣壓縮機以及定制化超導磁體。

講師介紹

講師：熊鷹 高級工程師
        現就職于蘇州八匹馬超導科技有限公司研發部，負責低溫泵的研發等相關工作，擁有10多年的工作技術經驗。

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會議日程

獎項設置：
 

一等獎：華為AI 智能音箱 價值699元，1位

二等獎：無線演示器 -激光翻頁筆，價值188元 20位

三等獎：話費充值券 價值30元,10位

互動參與獎：商務名片夾 ，20位