STP-iXA4507系列

        為滿足半導體先進制程發展對大排氣量分子泵的需求，全球領先的真空設備及尾氣處理解決方案提供商——Edwards Vacuum推出了具有優化氣體流量和溫度管理功能的STP-iXA4507系列磁懸浮分子泵，能夠有效應對各種嚴峻工藝挑戰。

        該系列分子泵具有超卓的抽速和排氣量，特別適用于半導體刻蝕、FPD刻蝕、PVD等大流量工藝。

        該系列分子泵采用磁懸浮技術，不依靠機械軸承運轉，降低運營和維護成本。

一體化解決方案
        完全集成的控制器和電源消除了對電纜和單獨控制器機架的需求，從而實現了低成本、緊湊型設計、安裝快捷方便和占地面積小。

性能更佳
• 與同類產品相比，最大連續流量提高60%以上。

• 抽速提升2%-8%，有效縮短腔體抽空時間。

溫度管理系統
• 溫度管理系統(TMS)裝置可用于生成副產物的工藝。

• B *涂層適用于TMS的高排氣量工藝。

高效節能
• 分子泵可在高達 35°C 的冷卻水條件下高效運行。

• 優化的結構設計，功耗僅相當于同類產品65-75%。

通訊
• I/O Remote、RS232、RS485、STP-Link標準端口。

• EtherCAT可以作為選配方案。

可選功能：轉子溫度傳感器

• 轉子溫度報警可以降低碎泵風險和提高機臺運行時間。