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劉明副理事長

中國真空學會第九屆理事會副理事長

1964年4月,劉明出生于江西豐城市,籍貫安徽宿州。
1985年,劉明從合肥工業大學本科畢業,獲得學士學位。
1988年,劉明從合肥工業大學碩士研究生畢業,獲得碩士學位。
1998年,劉明從北京航空航天大學博士研究生畢業,獲得博士學位。
2000年,劉明被聘為中國科學院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術研究室主任。
2008年,劉明獲得國家杰出青年科學基金資助。
2015年7月31日,劉明入選中國科學院院士增選初步候選人名單,12月7日當選中國科學院院士。
2018年1月25日,劉明出任中國科學技術大學國家示范性微電子學院院長,同年當選發展中國家科學院院士。

科研綜述
        劉明長期從事半導體存儲器和集成電路的微納加工等方面的研究,闡明了阻變存儲器機理,建立了相應的物理模型;提出了功能層摻雜和局域電場增強的阻變存儲器性能調控方法,提高存儲器整體性能;拓展了新型閃存材料和結構體系,提出新的可靠性表征技術、失效模型和物理機理;發展了集成電路的微納加工技術并拓展到禁運的短波衍射元件研制中 。
        劉明在國際上首次采用軟X射線曝光技術實現了256位分子存儲器;在32nm技術節點以下的非揮發性存儲器替代方案上,提出了利用金屬摻雜的技術手段來提高阻變存儲器(RRAM)性能和成品率的方法,成為國際上最早提出此概念的兩個小組之一,在漸進型的非揮發性存儲器替代方案上,著眼于納米晶浮柵存儲結構(Nano-Floating Gate)。


學術論著
        截至2017年7月,劉明發表SCI收錄論文250多篇,SCI他引超過2800次,6篇論文入選ESI高被引論文榜,兩項工作列入2013年ITRS(國際半導體發展路線圖)、多項工作作為典型進展被寫入15本著作和40篇綜述中。授權發明專利180件(含美國授權專利7件),主要專利轉讓/許可到多家重要集成電路企業。


學術交流
        截至2017年7月,劉明在本領域重要國際會議做邀請報告30多次 。


承擔項目
        截至2015年12月,劉明先后主持參與了多項國家973、863項目  。


科研成果獎勵
        截至2017年7月,劉明先后獲得國家技術發明二等獎3項、國家科技進步二等獎1項、中國電子學會科學技術獎自然科學類一等獎、北京市科學技術一等獎2項、北京市科學技術二等獎2項和中國科學院杰出成就獎等獎項 。


教育思想
        劉明提出:導師應首先做到讓學生尊重信賴的人,并建議年輕導師保持樂觀的生活和工作態度,學高為師,身正為范  。

教學成果獎勵


榮譽表彰


社會任職


人物評價
        劉明長期致力于微電子科學技術領域的研究,在存儲器模型機理、材料結構、核心共性技術和集成電路的微納加工等方面做出了系統、創造性貢獻。她建立了阻變存儲器(RRAM)物理模型,提出并實現高性能RRAM和集成的基礎理論和關鍵技術方法,產生重要國際影響 。(中國科學技術大學國家示范性微電子學院評)


 

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