2021年6月16日，上海市真空學會組織的評價委員會在上海漢鐘精機股份有限公司主持召開了由該公司自主研發的《PMF系列半導體用真空泵》科技成果評價會，評價委員會由亞太材料科學院院士、華東師范大學孫卓教授，復旦大學微電子學院盧紅亮教授，上海大學平板顯示工程技術研究中心李喜峰研究員，復旦大學材料科學系莫曉亮副研究員和上海市真空學會韓建華高級工程師等5名專家組成，由孫卓教授擔任評委會主任。

        上海漢鐘真空技術有限公司胡知順副總經理致歡迎詞并介紹了公司發展概況，薛軍主任和付娜課長就《PMF系列半導體用真空泵》成果的結構及性能、優點、先進性、創新性，以及該項目帶來的社會經濟效益分析向評委會做了技術總結匯報，該泵采用了永磁無刷直流電機，具有高效率和低功耗的特點，相比傳統的交流或直流電機節能效果明顯。并開發了半導體用真空泵智能化控制系統。該項目申請專利3項（其中已授權1項）。該項目經過自主研發設計完成，產品具有先進的節能特點和穩定的可靠性，得到客戶的認可，形成了良好的社會和經濟效益。

        評委會專家查閱了測試分析報告、用戶使用報告等相關資料，并現場考察了相關產品的生產、試驗情況，經過質詢和討論，評委會成員一致同意通過該項目的科技成果評價。認為漢鐘精機公司研制的半導體用真空泵，已形成了PMF100和PMF612兩種型號，與國外同類產品技術參數比較，達到了同等技術水平。PMF系列半導體用真空泵具有創新性和先進性，對提升我國半導體設備國產化具有積極的促進作用。建議該產品在半導體行業內加強推廣，積極參與國內外競爭。為實現科技自立自強做出新的貢獻。