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Bipolar在Low-E市場的應用
發布時間:
2021-07-22
作者:
霍廷格
來源:
霍廷格
鍍膜賦予了玻璃一個新的意義,它不僅改變了玻璃的外觀,還由此生成了許多全新的功能。
Low-E玻璃又稱低輻射玻璃,是在玻璃表面通過PVD方式鍍上多層金屬或其他化合物組成的膜系產品。
其鍍膜層具有對可見光高透過及對中遠紅外線高反射的特性,與普通玻璃及傳統的建筑鍍膜玻璃相比,具有優異的隔熱效果和良好的透光性,同時又非常美觀。
膜層是利用磁控濺射的方式來制備的,而濺射電源是其關鍵因素之一。隨著客戶對產品性能要求的提高,除了要選擇不同電源類型外,對于輸出波形,電弧管理也有新的要求。
輸出波形
不同輸出波形可以改變膜層性能,比如雙極脈沖濺射在抑弧和峰值能量上優于正弦波,在制備TiO2膜層時能夠沉積出金紅石結構,具有更高的折射率;脈沖直流濺射對比純直流濺射在晶體結構上也有不同。
電弧管理
電弧會對靶材和產品造成嚴重的影響,通常由幾方面產生:
? 反應濺射時,金屬氮氧化物會在靶面濺射區周圍再沉積,形成一個絕緣層,同時不斷累積入射的正離子電荷,使得靶面局部電勢不平衡,從而形成弧光放電
? 不規則刻蝕引起的尖端放電
? 靶材雜質或表面污染
? 旋轉陰極機械原因(磁場抖動/電極接觸等)
? 其他因素等
霍廷格電子TruPlasma Bipolar 4000系列工藝電源,一經推出就在Low—E市場上得到了很好口碑和認可。
在輸出波形方面有直流、直流脈沖、雙極脈沖、交流方波、類正弦波、梯形波??梢愿鶕慕涷瀬磉x擇不同波形,做出更好的膜層。
在電弧管理方面,具備了特有專利—CLC電纜補償技術和先進電弧判定算法。
此功能能夠在電弧初始階段就檢測出,并進行抑制,將電弧能量控制到極小的范圍,最大抑弧能力40000次/秒,做到了行業內最頂尖的水平,尤其針對氧化鋯靶材料。
在建筑玻璃鍍膜、耐磨裝飾涂層涂覆、太陽能電池以及半導體制造中,TruPlasma Bipolar 4000系列工藝電源憑借靈活可塑的輸出波形和強大的電弧管理,提供了完美的解決方案。
關于霍廷格
德國霍廷格電子有限公司成立于1922年,總部設于德國弗萊堡,是世界領先的等離子體電源制造商,產品主要用于:半導體,太陽能和平板顯示器領域,及光學鍍膜,裝飾鍍膜,工具鍍膜,大面積玻璃鍍膜等行業的等離子體應用。
我們致力于開發、制造用于各種沉積和蝕刻工藝的等離子電源。通快霍廷格在歐洲、美洲和亞洲分別設有銷售和服務子公司和分支機構。在中國設有亞太區應用于維修中心。為您提供所有生產過程的優質服務。
公司官網:http://www.trumpf-huettinger.com/
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