隨著等離子體技術的不斷發展，其應用領域的不斷擴展，使得現代的射頻電源系統有了長足的發展。

        八十年代的電子管已發展為現在的晶體管射頻電源，其功率與頻率也不斷增強。

        而等離子體技術的應用更是無處不在：從智能手機、平板和柔性顯示器，到航空航天技術、半導體產業、光學鍍膜與醫療美容行業...日常生活中隨處可見由等離子體技術加工而成的產品。

        談到等離子體射頻系統不得不涉及到阻抗匹配器。

        匹配器根據用戶負載腔體的阻抗變化來調節自身參數，在整個系統中起到減少信號反射，達到阻抗匹配，使得所有高頻的信號皆能傳至負載點，提升能源效益的作用。

什么是阻抗匹配？
        阻抗匹配指在能量傳輸時，要求負載阻抗和傳輸線的特征阻抗相等。此時的傳輸不會產生反射，這表明所有能量都被負載吸收了，反之則在傳輸中有能量損失。

        簡單來說就是信號源或傳輸線跟負載之間達到一種適合的搭配。如兩個連通的、容積相等的水池，可互相交換水，但自身卻不消耗水，長時間來看（積分）經過他們運輸的水就沒有損失。

阻抗匹配主要有兩點作用：調整負載功率和抑制信號反射。

        當外電阻等于內電阻時，電源對外電路輸出的功率最大，就能使一個純電阻電路功率達到最大值。

        如圖1所示，電路中電流I=U/（r + R），負載功率P=I*I*R。由以上兩個方程可得當R=r時P取得最大值，Pmax=U^2/（4*r）。這就是純電阻電路的功率匹配。

        電抗電路要比純電阻電路復雜，因為電路中除了電阻外還有電容和電感。

        共軛匹配（conjugate matching）就是滿足其最大功率傳輸條件方式之一。共軛的含義為負載阻抗等于源端阻抗的共軛值，即它們的模相等而幅角之和為零。

        簡單來說，就是源端阻抗Rs+jXs和負載阻抗RL+jXL滿足：實部相等Rs=RL，虛部相抵消Xs+XL=0，負載即能得到最大功率。

RF系統中為什么要用匹配器？
        如果系統沒有內阻，所有的功率都將消耗在負載上，這樣輸出功率始終是最大的。但任何系統都是有內阻的，為了使負載的功率最大化，需要匹配器來進行阻抗匹配。

        RF系統中經常提到的Pfwd和Pref就是正向功率和反射功率。所以匹配器要做到的就是使得Pfwd為最大，Pref=0。

        為方便大家更好了解匹配器，以下即為TruPlasma Matchbox 1045/13（400A G2）型號的結構示意圖，該款匹配器為水冷散熱方式，主要由步進電機，微控制板，可調真空電容及電感構成。

TruPlasma Match匹配器
        霍廷格電子TruPlasma Match匹配器，一經推出就在半導體及光伏市場上得到了很好的口碑和認可。

        霍廷格電子提供多種規格型號的TruPlasma Match匹配器，適用于不同工業場景，如光伏，CVD，FPD，PVD，HDD，SEMI Etch等。

產品優勢：
        01- 先進的匹配算法：通過軟件特別對ALD工業模式進行優化，匹配器與電源可以更好的協同工作，匹配時間可縮短至25ms每氣體脈沖。

        02- 電弧拉弧檢測。

        03- 同步模式：刻蝕（SEMI Etch）工藝專用的同步功能。

        04- 先進的數字控制平臺：通過TruPlasma MatchBox專用軟件可以對匹配器進行控制以及模式的切換，軟件內部還集成了史密斯圓圖等檢測工具。

        05 - Systemport接口: TruPlasma MatchBox特有的用于匹配器與TruPlasma Power電源之間進行同步通訊的接口。