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RF射頻電源在工業中的應用
發布時間:
2021-12-31
作者:
霍廷格
來源:
霍廷格
RF(Radio Frequency) 射頻電源在工業生產和研發中有著廣泛的應用前景。在包括反應離子刻蝕(RIE),化學氣相沉積(PECVD),磁控濺射(Sputtering)等領域,都有著廣泛的應用。
霍廷格RF電源產品,通過研發團隊多年持之以恒,不斷研發創新,與國內外各行業的領頭企業深度合作,積極響應市場和客戶端的需求,在各個行業市場中取得了優異的表現。
對于不同功率規格的應用需求,RF G2二代產品系列包含了從1KW到90KW的不同型號電源,兼容多種通訊方式(DNet, RS232, AD interface, Profibus, EtherCat, EtherNet 等)。
并且RF G2二代產品系列可配備定制化的射頻匹配器,讓電源與匹配器之間實現實時通訊控制,形成一個快速便捷, 穩定可靠的RF射頻系統。
RF G2二代產品, 在Class F的運放拓撲結構基礎上, 優化了多種先進功能, 尤其是對一些半導體相關工藝的開發, 起到了至關重要的作用。
自動調頻 Auto Frequency tuning
多級脈沖 Multi-level Pulsing
智能抑弧Arc Management