2022年12月11日由上海市真空學會主辦、真空半導體專業委員會和復旦科技園集成電路融創中心（復創芯）承辦的真空技術在先進微納電子行業中的應用論壇，在復旦大學科技園以線上線下方式同時舉行。本次論壇包含 2022 中國工博會科技論壇分論壇暨第四屆上海真空科技進步獎頒獎儀式。

        論壇由上海市真空學會秘書長莫曉亮主持，學會理事長孫卓教授致辭，副理事長韓建華宣讀獲得第四屆上海真空科技進步獎獲獎項目表彰決定。

        第四屆上海真空科技進步獎授獎項目共9項（45人），其中；一等獎3項，二等獎3項，三等獎3項。第四屆上海真空科技進步獎展示了近兩年上海真空科技領域所取得的最新科研成果。獲獎成果內容涉及光伏用干式螺桿真空泵、半導體用干式真空泵、微油螺桿真空泵、壓縮空氣能效智能化管控平臺、低溫等離子體及催化劑協同低壓裝備系統應用研究、紅外熱成像探測器芯片真空封裝用電激活微型吸氣劑的研發、質子交換膜燃料電池金屬極板涂層、耐事故核燃料包殼管表面防護涂層制備系統的研究和超高真空全金屬屏蔽插板閥等方面，反映了真空科技創新項目在重大工程中的應用，也彰顯了上海真空發展的引領作用。孫卓、韓建華、莫曉亮分別為獲獎單位頒獎。

        同時本屆論壇結合 2022年中國工博會科技分論壇，為增進真空科技工作者之間的相互了解和交流，促進科技進步、產學研合作，以“微納電子，創新應用”為主題，結合真空相關產業技術，研討真空技術在先進微納電子行業中的應用，推進微納電子技術與相關領域的融合發展，推動經濟社會和科技發展，服務上海具有全球影響力的科技創新中心建設。

        論壇邀請亞太材料科學院院士、華東師范大學孫卓教授

        復旦大學盧紅亮教授

        蘇州八匹馬超導科技有限公司湯洪明總經理

愛發科真空技術（蘇州）有限公司何曉峰部長等作真空應用方面的專題報告

        孫卓教授在報告中詳細介紹了納光電研究中心研發領域和背景，水資源與處理技術以及微納光電凈化技術，盧紅亮教授在報告中介紹了原子層沉積在先進半導體技術中的應用，湯洪明和何曉峰在報告中分別介紹了基于核心部件技術自主可控的低溫真空泵的產業化和應用與微納米加工-深刻蝕/微透鏡刻蝕工藝技術。

        本次論壇針對真空技術在微納電子領域的創新應用，通過深入的交流討論，將最新的研發成果與產業發展和需求有機結合，以產學研緊密結合的方式進行，旨在為真空技術領域的科研和產業同行提供一個友好的交流環境，促進會員單位的廣泛合作。會議期間還參觀了復旦科技園集成電路融創中心（復創芯）。

        本屆論壇線上線下結合取得圓滿成功，與會代表收獲頗豐。論壇得到了上海市科學技術協會、復旦大學微電子學院、華師大納光電集成與先進裝備教育部工程研究中心、愛發科真空技術（蘇州）有限公司、上海集加實業有限公司和合肥昱馳真空技術有限公司等單位的大力支持，在此深表謝意。會議對真空半導體專業委員會和復旦科技園集成電路融創中心（復創芯）提供的交流平臺和熱情接待表示衷心的感謝!

上海市真空學會
2022年12月11日