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200mm口徑低溫泵
蘇州八匹馬超導科技有限公司
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低溫真空泵：低溫真空泵是基于氣體冷凝降壓效應，將可冷凝氣體冷凝至低溫表面、非冷凝氣體被低溫固體吸附劑吸附，從而使密閉腔體壓力下降的高真空獲得裝置。低溫真空泵廣泛應用于大規模集成電路和泛半導體行業中，其中在光刻、蝕刻、離子注入、物理氣相沉積及手機曲面屏的鍍膜工藝中，低溫真空泵均具有不可替代的作用，在上述行業中提供必要的高真空條件。
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